Nusodinimas
Gaukite įžvalgų ir paspartinkite kūrimo procesą.
„Advanced Energy“ teikia maitinimo ir valdymo sprendimus kritinėms plonasluoksnių sluoksnių nusodinimo reikmėms ir įrenginių geometrijoms. Siekdami išspręsti plokštelių apdorojimo iššūkius, mūsų tikslaus galios konvertavimo sprendimai leidžia optimizuoti galios tikslumą, preciziškumą, greitį ir proceso kartojamumą.
Siūlome platų radijo dažnių, nuolatinės srovės maitinimo sistemų, pritaikytų galios lygių, derinimo technologijų ir šviesolaidinių temperatūros stebėjimo sprendimų asortimentą, kurie iš tiesų leidžia geriau valdyti proceso plazmą. Taip pat integruojame „Fast DAQ™“ ir mūsų duomenų rinkimo bei prieinamumo paketą, kad galėtume geriau suprasti procesą ir paspartinti kūrimo procesą.
Sužinokite daugiau apie mūsų puslaidininkių gamybos procesus, kad rastumėte savo poreikius atitinkantį sprendimą.
Jūsų iššūkis
Nuo plėvelių, naudojamų integrinių grandynų matmenims modeliuoti, iki laidžių ir izoliacinių plėvelių (elektrinių struktūrų) ir metalinių plėvelių (sujungimų), jūsų nusodinimo procesams reikalingas atominio lygio valdymas – ne tik kiekvienai savybei, bet ir visai plokštelei.
Be pačios struktūros, jūsų nusodintos plėvelės turi būti aukštos kokybės. Jos turi turėti norimą grūdelių struktūrą, vienodumą ir konforminį storį, būti be porų – be to, jos turi užtikrinti reikiamus mechaninius įtempius (gniuždymo ir tempimo) ir elektrines savybes.
Sudėtingumas tik didėja. Siekiant išspręsti litografijos apribojimus (mazgai mažesni nei 1X nm), savaime išsilyginantiems dvigubiems ir keturgubiems raštavimo metodams reikia, kad jūsų nusodinimo procesas sukurtų ir atkurtų raštą ant kiekvienos plokštelės.
Mūsų sprendimas
Diegiant svarbiausias nusodinimo programas ir įrenginių geometrijas, jums reikia patikimo rinkos lyderio.
„Advanced Energy“ radijo dažnių (RF) galios tiekimo ir didelės spartos suderinimo technologija leidžia pritaikyti ir optimizuoti galios tikslumą, preciziškumą, greitį ir proceso pakartojamumą, reikalingą visiems pažangiems PECVD ir PEALD nusodinimo procesams.
Pasinaudokite mūsų nuolatinės srovės generatoriaus technologija, kad tiksliai sureguliuotumėte konfigūruojamą lanko atsaką, galios tikslumą, greitį ir proceso pakartojamumą, reikalingą PVD (dulkinimui) ir ECD nusodinimo procesams.
Privalumai
● Pagerintas plazmos stabilumas ir proceso pakartojamumas padidina išeigą
● Tikslus RF ir DC tiekimas su visišku skaitmeniniu valdymu padeda optimizuoti proceso efektyvumą
● Greitas reagavimas į plazmos pokyčius ir lanko valdymą
● Daugiapakopis pulsavimas su adaptyviu dažnio derinimu pagerina ėsdinimo greičio selektyvumą
● Teikiama pasaulinė pagalba, siekiant užtikrinti maksimalų veikimo laiką ir produkto našumą