Nusėdimas
Gaukite įžvalgų ir paspartinkite kūrimo procesą.
„Advanced Energy“ teikia maitinimo ir valdymo sprendimus kritinėms plonos plėvelės nusodinimo programoms ir įrenginių geometrijoms.Norėdami išspręsti plokštelių apdorojimo problemas, mūsų tikslūs galios konvertavimo sprendimai leidžia optimizuoti galios tikslumą, tikslumą, greitį ir proceso pakartojamumą.
Mes siūlome platų RF dažnių asortimentą, nuolatinės srovės maitinimo sistemas, pritaikytus galios lygius, suderinimo technologijas ir optinio pluošto temperatūros stebėjimo sprendimus, kurie tikrai leidžia geriau valdyti proceso plazmą.Taip pat integruojame Fast DAQ™ ir mūsų duomenų gavimo ir pritaikymo neįgaliesiems rinkinį, kad suteiktume proceso įžvalgą ir paspartintume kūrimo procesą.
Sužinokite daugiau apie mūsų puslaidininkių gamybos procesus, kad rastumėte savo poreikius atitinkantį sprendimą.
Jūsų Iššūkis
Nuo plėvelių, naudojamų integrinių grandynų matmenims modeliuoti, laidžioms ir izoliacinėms plėvelėms (elektrinėms konstrukcijoms), metalinėms plėvelėms (sujungimui), jūsų nusodinimo procesams reikalingas atominio lygio valdymas – ne tik kiekvienai funkcijai, bet ir visoje plokštelėje.
Be pačios konstrukcijos, jūsų deponuotos plėvelės turi būti aukštos kokybės.Jie turi turėti norimą grūdėtumo struktūrą, vienodumą ir konforminį storį, be tuštumų – be to, reikia užtikrinti reikiamus mechaninius įtempius (gniuždymo ir tempimo) bei elektrines savybes.
Sudėtingumas tik didėja.Kad būtų pašalinti litografijos apribojimai (mažesni nei 1X nm mazgai), naudojant savaime suderintus dvigubo ir keturių raštų metodus, reikia, kad nusodinimo procesas sukurtų ir atkurtų raštą ant kiekvienos plokštelės.
Mūsų sprendimas
Kai įdiegiate svarbiausias nusodinimo programas ir įrenginio geometriją, jums reikia patikimo rinkos lyderio.
„Advanced Energy“ RF energijos tiekimo ir didelės spartos suderinimo technologija leidžia pritaikyti ir optimizuoti galios tikslumą, tikslumą, greitį ir proceso pakartojamumą, reikalingą visiems pažangiems PECVD ir PEALD nusodinimo procesams.
Naudokite mūsų nuolatinės srovės generatoriaus technologiją, kad tiksliai sureguliuotumėte savo konfigūruojamą lanko atsaką, galios tikslumą, greitį ir proceso pakartojamumą, reikalingus PVD (purškimo) ir ECD nusodinimo procesus.
Privalumai
● Didesnis plazmos stabilumas ir proceso pakartojamumas padidina derlių
● Tikslus RF ir DC tiekimas su visu skaitmeniniu valdymu padeda optimizuoti proceso efektyvumą
● Greitas reagavimas į plazmos pokyčius ir lanko valdymas
● Daugiapakopis pulsavimas su adaptyviu dažnio derinimu pagerina ėsdinimo greičio selektyvumą
● Galimas visuotinis palaikymas, užtikrinantis maksimalų veikimo laiką ir produkto našumą