MSB serijos vidutinio dažnio purškimo maitinimo šaltinis
-
MSB serijos vidutinio dažnio purškimo maitinimo šaltinis
RHH serijos RF maitinimo šaltinis priklauso nuo brandžios RF generavimo technologijos, kad klientams būtų suteikta didesnė galia, didesnis tikslumas ir greitas atsakas.Su faze galima nustatyti, valdyti impulsą, skaitmeninį derinimą ir kitas funkcijas.Taikomos sritys: fotovoltinė pramonė, plokščių ekranų pramonė, puslaidininkių pramonė, chemijos pramonė, laboratorija, moksliniai tyrimai, gamyba ir kt.
Taikomi procesai: plazmos sustiprintas cheminis nusodinimas garais (PECVD), plazminis ėsdinimas, plazmos valymas, radijo dažnio jonų šaltinis, plazmos difuzija, plazmos polimerizacijos dulkinimas, reaktyvusis dulkinimas ir kt.