MSB serijos vidutinio dažnio purškimo maitinimo šaltinis

Trumpas aprašymas:

RHH serijos RF maitinimo šaltiniai remiasi pažangia RF generavimo technologija, kad klientams būtų galima pasiūlyti didesnės galios, didesnio tikslumo ir greitesnio reagavimo RF maitinimo šaltinius. Galima nustatyti fazę, valdyti impulsus, atlikti skaitmeninį derinimą ir kitas funkcijas. Taikymo sritys: fotovoltinių įrenginių pramonė, plokščiųjų ekranų pramonė, puslaidininkių pramonė, chemijos pramonė, laboratorijos, moksliniai tyrimai, gamyba ir kt.

Taikomi procesai: plazmoje sustiprintas cheminis garų nusodinimas (PECVD), plazminis ėsdinimas, plazminis valymas, radijo dažnių jonų šaltinis, plazmos difuzija, plazminės polimerizacijos dulkinimas, reaktyvusis dulkinimas ir kt.

Produkto informacija

Produkto žymės

Siųskite mums el. laišką

Savybės

● Pusiau plytiniai ir stovo tipo

● Priimkite visišką skaitmeninį valdymą su patogiu ir turtingu valdymo meniu

● Dažnio derinimas, impulsas ir impulsų sinchronizavimo funkcijos

● Su CEX fazės sinchronizavimo funkcija

● Puiki apsaugos funkcija

Produkto informacija

Įvestis	Įėjimo įtampa: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (specialias specifikacijas galima pritaikyti)
Įvestis	Įėjimo dažnis: 47~63Hz
Išvestis	Išėjimo dažnis: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Derinimo diapazonas: ±5%
	Išėjimo galia: 1,5–5 kW
	Išėjimo galios reguliavimo diapazonas: 1~100%
	Išėjimo varža: 50Ω+j0
	Išvesties sąsaja: N tipo
	Išvesties režimas: nuolatinis, impulsinis
	Impulsų dažnis: 100 Hz ~ 100 kHz
	Darbo ciklas: 5~95%
Našumo indeksas	Galios koeficientas: 0,98
	Dažnio stabilumo tikslumas: ±0,005%
	Efektyvumas: 75 % (esant vardinei galiai)
	Harmoninis: <-45dBc
	Paklaidingas: <-50dBc
	Išorinė valdymo sąsaja: analoginis dydis, ryšys ir sinchronizavimas
	Ryšio režimas: standartinė RS485 ryšio sąsaja; pasirenkama eterio CAT, pramoninis Ethernet ir kt.
Pastaba: produktas nuolat tobulinamas ir jo našumas nuolat gerėja. Šis parametro aprašymas skirtas tik informaciniams tikslams.