Purškimo maitinimo šaltinis
-
MSB serijos vidutinio dažnio purškimo maitinimo šaltinis
RHH serijos RF maitinimo šaltiniai remiasi pažangia RF generavimo technologija, kad klientams būtų galima pasiūlyti didesnės galios, didesnio tikslumo ir greitesnio reagavimo RF maitinimo šaltinius. Galima nustatyti fazę, valdyti impulsus, atlikti skaitmeninį derinimą ir kitas funkcijas. Taikymo sritys: fotovoltinių įrenginių pramonė, plokščiųjų ekranų pramonė, puslaidininkių pramonė, chemijos pramonė, laboratorijos, moksliniai tyrimai, gamyba ir kt.
Taikomi procesai: plazmoje sustiprintas cheminis garų nusodinimas (PECVD), plazminis ėsdinimas, plazminis valymas, radijo dažnių jonų šaltinis, plazmos difuzija, plazminės polimerizacijos dulkinimas, reaktyvusis dulkinimas ir kt.
-
MSD serijos purškimo maitinimo šaltinis
MSD serijos nuolatinės srovės purškimo maitinimo šaltiniai naudoja pagrindinę įmonės nuolatinės srovės valdymo sistemą kartu su puikia lanko apdorojimo schema, todėl gaminys pasižymi labai stabiliu veikimu, dideliu patikimumu, mažu lanko pažeidimu ir geru proceso pakartojamumu. Pritaikyta kinų ir anglų kalbų ekrano sąsaja, todėl ją lengva valdyti.