TPM5 serijos maitinimo valdiklis
-
TPM5 serijos maitinimo valdiklis
TPM5 serijos galios valdiklis pritaiko modulio konstrukcijos idėją ir integruoja iki 6 grandinių. Produktai daugiausia naudojami difuzinėse krosnyse, PECVD, epitaksijos krosnyse ir kt.